化学物質、資源廃棄物管理

半導体製造では、シリコンウェハの洗浄・加工・膜成長など、様々な工程及び排水処理において、多くの化学物質（薬品・ガス）を使用しています。これらの化学物質を導入するにあたり、化学物質の事前審査において、使用から廃棄に至るまでの環境・安全面の評価を行い、導入可否を決定しています。

［事前評価項目］
● 関連法令、規制化学物質
● 有害性ランク
● 廃棄時の処置方法
● 使用場所
● 取り扱い方法（保護具の着用など）
● 救急、火災、漏洩時の処置

半導体製造工程から発生した使用済の化学薬品は、社内で再利用するもの、有価物として社外で再使用または再生利用されるもの、社外で廃棄物処理されるものに分類されます。
2006年度は、生産量が増加したことにより、廃棄物発生量が2005年度比で30％増加しました。これらの不要物の再資源化の用途を安定的に確保することが、極めて重要です。また、製造工程以外から発生する廃棄物についても、廃プラスチック、ガラスくず、金属くず、生ゴミなどに徹底的に分類し、再資源化することに努めています。

※ 2005年度までは、広島エルピーダメモリのみ。2006年度より、エルピーダメモリ、広島エルピーダメモリ、秋田エルピーダメモリの合計の数値です。