
広島工場は、豊かな自然に囲まれた、東広島市の吉川工業団地に立地し、地域との調和を最優先に、環境に配慮した生産活動を行っています。業界に先駆けて環境効率に優れた300mmウェハラインへの完全シフトを実現し、付加価値の高いプレミアDRAMの製造に注力しています。
環境負荷低減活動の歩み

広島工場は、世界最先端のエコファクトリを常に意識しながら、高いレベルの環境活動を継続推進しています。特に、省エネルギー、地球温暖化防止に関しては、2004年度に「エネルギー管理優良工場 経済産業大臣表彰」、2009年度には「地球温暖化防止活動 環境大臣表彰」を受賞しました。当工場のこれまでの活動が認められ、省エネルギー、地球温暖化防止における国内最高位の両大臣表彰を受賞できたものと確信しています。
2010年度も引き続き、生産効率、エネルギー効率の改善、向上を図るとともにPFC類ガス等の温室効果ガスの排出低減に努めてきました。
このほか、当工場では資源回収にも積極的に取り組んでおり、2000年8月よりゼロエミッションを継続達成してきました。現在では、99.9%以上の資源を他産業分野において有効に活用いただいています。
また、当工場はエルピーダメモリグループの最先端技術の開発拠点でもあり、いち早く最先端エコプロダクツの量産化を図ってきました。2010年度は、40nmプロセスへの転換と低消費電力を追求したモバイルDRAMへの生産移行を強力に進めました。
これらの結果、環境の改善度合いを総合的に示す指標で、当社が定義する環境ファクターは、2006年度比で6.28倍、前年2009年度比で1.66倍にまで改善しています。
2010年度は40nmプロセス、モバイルDRAMへの転換など、生産工程増などの要素により、温室効果ガス、水使用量など各種原単位は若干悪化しましたが、総合的には確実に改善を進めることができました。

※環境ファクターの定義
環境ファクター=環境効率(対象年度)/環境効率(基準年度)
環境効率=出荷ビット数※1(ビット)/環境負荷※2(kg-CO2)
※1 出荷ウェハ枚数×ウェハ1枚あたりビット数
※2 エネルギー・化学薬品・ガス・PFC排出のCO2換算値。化学薬品、ガスは製造段階の排出量
地球温暖化対策
日本最大規模のコージェネレーションシステム(CGS)
CGSは、効率的な発電システムで、発電時に発生した廃熱を冷暖房などに有効利用することで、高いエネルギー効率を達成しています。2005年12月に稼働開始した高発電効率を誇るガスエンジンタイプは、廃熱を蒸気のほか、高・中温域温水でも回収することで、従来のガスタービンタイプに比べ、約4割のエネルギー効率向上を実現しました。
2010年度末現在の出力112,550kWは、国内最大能力※3となっており、CGSの効果により、当工場からのエネルギー起因CO2排出量をCGSなしの場合と比較して27%(170kt-CO2/年相当)削減しています。
※3(財)天然ガス導入促進センター・2009年時点

PFC類ガス排出量削減
半導体製造工場では、その製造プロセスにおいてNF3、CF4などのフッ素系ガス(PFC)を使用します。これらは、CO2の6千〜2万2千倍の高い地球温暖化係数を持つ温室効果ガスです。当工場では、設立当初より燃焼式分解装置を積極的に導入しています。2009年度にはさらにNEDOの助成金を活用し、大型の触媒式熱分解装置を導入しました。これらの除害装置を年間通じてフル稼働させた結果、全排出量の70%に相当する438kt-CO2を削減しました。この結果、2010年度の排出目標200kt-CO2を大きくクリアする排出量184kt-CO2となりました。

※4 除害装置の分解率には、実測値を使用しています。
PFC(perfluorocarbon)…半導体の製造工程でエッチングや洗浄に用いる代替フロン・ガスの一種。代表的なものにCF4、C2F6、C3F8、C4F8がある。このほかperfluoro-compoundとして、CHF3、SF6、NF3を含むこともある。
TOPICS 電力購入先変更によるCO2削減
広島工場では、CGSで発電するとともに、電力需要変動の大きな部分に対し、外部からの商用電力も利用しています。この部分については従来、石炭火力比率が高くCO2を大量に排出する一般電気事業者から供給を受けてきました。
当工場はこの実情を踏まえ、数年前から電力供給元の再検討を進め、2010年度からは天然ガス火力発電を主力とする(株)エネット殿より供給を受けることとしました。その結果、従来に比較し30%強、年間23kt-CO2相当の削減が可能となり、当工場のエネルギー起因CO2排出量をさらに約4%削減することができました。
地域との交流と社会貢献活動
社外の方々とのコミュニケーションを重要な活動と位置付け、地域交流、学習支援などに積極的に取り組んでいます。
近隣地域との環境交流会

広島工場北側に隣接する吉川地区を対象として2007年度から開始した「環境交流会」も、2009年度に新たに工場東側の田口地区(武士・一ツ橋地区)を加えました。5回目となった2010年度は、14名の方にご参加いただき、延べ127名の方々に当社の環境への取り組みを実際にご確認いただきました。今回ご参加いただいた方々にアンケートをとった結果、9割以上の方に「よくやっている」との高い評価をいただきました。
環境交流会では毎回、参加者からのご質問・ご意見、ご要望のすべてにお答えするとともに、『エルピーダ通信』(地域回覧板)を通じて近隣地域の方々にもお知らせしています。
地域のイベントへの参加
当工場は、地域のイベントにも積極的に参加させていただいています。
2010年度も、7月に吉川地区の「吉川夏まつり」に協賛し、出店参加させていただきました。また、8月には当工場で開催した「けやき祭り」に、地区の全世帯(約400世帯)をご招待し、多くの方にお越しいただきました。

コンポストを通じた地域貢献
広島工場では廃棄物ゼロエミッションの一環として食堂から排出される約2,100kg/月の生ゴミを発酵、乾燥させて堆肥化するコンポストを導入、運用しています。できた堆肥は、構内のケナフ畑などに使用するとともに、近隣農家に提供し野菜栽培の有機肥料としても利用していただいています。特に田口地区の農場では、この肥料を使用してアスパラガス等の大規模な野菜栽培が行われています。
ケナフ栽培を通じた活動
当工場では、環境啓蒙活動の一環として10年前より構内にケナフという二酸化炭素を多く吸収し、紙の原料となる一年草を栽培しています。この活動を当工場内に留めず、近隣小学校での学習指導につなげ、社会貢献活動のひとつとしています。
ケナフ栽培
ケナフの栽培は、当工場の廃棄物ゼロエミッション活動においてゼロに満たない残りわずかな焼却ゴミ相当分の二酸化炭素を相殺、紙資源として社会に還元することによってゼロを補完する目的で2000年から始めました。2010年度は、約5,000本を栽培しました。これらを高知県の製紙工場や近隣の社会福祉施設でA4用紙22,500枚に相当するケナフ紙に製紙し、社会のいろいろなところでご利用いただいています。
ケナフ栽培を通じた学習支援活動

ケナフを栽培し、その繊維から紙を作る過程を通じ、環境学習の一助とすることを目的として、毎年、近隣小学校を対象に学習支援を行っています。
2010年度も、近隣小学校の校庭に生徒さんと一緒にケナフ畑を作り、日頃のお世話と成長の観察をしていただきました。
また、低学年の生徒さんを対象にしたケナフの紙すき指導も毎年恒例となりました。ハガキサイズの木枠で押し花や紅葉をすき込んだケナフ紙を一人ひとり作っていただきました。
これらの様子は、『エルピーダ通信』を通じて地域の家々に回覧しています。なお、『エルピーダ通信』にもこのケナフ紙を使用しています。

小学校の学習支援
「半導体を学ぶ授業」の支援

2010年11月、吉川小学校の5年生の社会科の授業で、全10回にわたる「半導体を学ぶ授業」が行われることになりました。
「半導体を学ぶ授業」では、当工場が取り上げられることになり、授業で使われるテキストの制作に従業員が協力させていただきました。
また、全10回の授業のうち初回の授業には、当工場の従業員も参加し、当社製品についてご説明しました。この授業に引き続き、5年生の生徒10名が当工場を見学されました。
環境・社会貢献活動ハイライト
| 2010年4月 | 「空き缶のプルタブ贈呈」(近隣小学校) |
| 5月 | 小学校学習支援「ごみのリサイクルについて(工場見学)」 従業員(当社・協力会社)環境啓発活動「ケナフの種まき」 小学校学習支援「古河川の生物調査」 東広島市危険物安全協会より「優良危険物事業所表彰」を受ける |
| 6月 | 小学校学習支援「ケナフの種まき」(2校) 東広島市主催「きれいなまちづくりキャンペーン」参加 |
| 7月 | 「吉川夏まつり大会」出店 |
| 8月 | 「ケナフ紙贈呈」(近隣小学校・公民館) |
| 10月 | 小学校学習支援「搬送ロボットについて(工場見学)」 |
| 11月 | 「吉川文化祭」ブース開設 小学校学習支援「ケナフの刈り入れ」 小学校学習支援「半導体を学ぶ授業」実施(出張授業) 従業員(当社・協力会社)環境啓発活動・小学校学習支援「ケナフの刈り入れ」 近隣地域との「環境交流会」 |
| 12月 | 小学校学習支援「ケナフの刈り入れ」 |
| 2011年1月 | 「第15回チャリティーカレンダー展」(カレンダー・手帳贈呈)への協力 小学校学習支援「ケナフの紙すき体験」(2校) |
| 2月 | 中学校学習支援「ゲストティーチャー」 |
| 3月 | 小学校学習支援「卒業記念講演」 |
| 年間イベント | 近隣地域回覧板「エルピーダ通信」発行(偶数月) 吉川地区清掃活動参加「缶・ビン拾いの日」(7月、10月、2月) 工場周辺環境美化活動(年10回) 環境安全衛生パトロール(毎月実施。7月、1月はトップパトロール) 法令レビュー会議(毎月) |